| [신소재] XRD |
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| 설명 : XRD의 원리와 구성에 대한 레포트 [참고자료] -나노소재기기 수업자료 (최봉근 교수님) -William D. Callister, Jr., Materials Science and Engineering an Introduction 6/e, John Wiley & Sons, Inc., 2003 -Skoog, Douglas A., Principles of Instrumental Analysis 6/E, Thomson, 2007 -투과 전자현미경학 개론/ 성창모/ 반도출판사/ 56~58P(Bragg`s Law부분) -구글 이미지 |
| (1)XRD 시스템 1. XRD 구성 1) X-ray 발생장치(X-ray Generator) 2). Goniometer 3) 계수기록장치(Electronic Circuit Panel) 4)Filter (2)시편의 종류에 따른 분석 방법 1. θ-2θ 축으로 주사 1) 다결정 시편 분말시료와 같은 다결정 시편은 시편 표면에 평행한 결정면을 모두 가지고 있기 때문에 각각의 결정면들의 회절선이 나타나게 된다. 2) 단결정 시편 Si wafer와 같은 단결정 시편은 시편 표면에 평행한 결정면을 하나만 가지 고 있기 때문에 그 결정면의 회절선만 크게 나타나게 된다. 3) 방향성을 갖는 시편 2. 2θ 축으로 주사 3. θ축으로 주사 4. θ-θ축으로 주사 (3) 시료의 충진 1. 알루미늄 시료판 2. 유리 시료판 3. 무반사 시료판 (4)XRD 실험방법 1. 분말X선회절법에 의한 동정법의 특징 2. X선에 의한 동정법의 한계 3. ICDD card 4. 색인서(Index book) |
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